|
Назив
предмета: Физика
површина и
танких
слојева |
|||||
|
Наставник:
Наташа
Бибић |
|||||
|
Статус
предмета: изборни |
|||||
|
Број
ЕСПБ: 15 |
|||||
|
Услов: нема
посебних
услова |
|||||
|
Циљ
предмета Упознавање
са
фундаменталним
физичким особинама
површина и
танкослојних
структура.
Овладавање
екпсерименталним
техникама
депоновања
танких
слојева и
анализе структурних,
електричних
и
механичких
особина
танких
слојева.. |
|||||
|
Исход
предмета: Разумевање
основних
феномена
физике површина
и танких
слојева.
Оспособљавање
за самосталан
истраживачки
рад у
области
физике
површина и
танких
слојева. |
|||||
|
Садржај
предмета Увод у
физику
површина:
површинска
енергија и
термодинамичке
особине.
Особине
танких
слојева:
микроструктурне
карактеристике,
дефекти и
нечистоће,
термодинамичке
особине и
фазни
прелази,
кинетика и
дифузиони
процеси,
нуклеација
и раст.
Модели раста
и формирања
танких
слојева.
Методе депоновања
танких
слојева:
распрашивање,
вакуумско
депоновање,
епитаксијални
раст, хемијско
вакуумско
депоновање.
Методе
карактеризације
танких
слојева -
експерименталне
технике за
структурну
карактеризацију
и анализу
састава;
мерење и
анализа
електричних,
магнетних,
механичких
и оптичких
особина. |
|||||
|
Литература
1. J.W.Mayer
and S.S.Lau, Electronic Material Science: For Integrated Circuits in Si and
Ga As (Macmillan Publ.Co., 1990) 2. K.L.
Chopra, Thin Film Phenomena
(McGrow-Hill, 1970) 3. L.I.
Handbook of Thin Film Technology (McGrow-Hill, 1970) 4.
Додатана
литература,
низ
квалитетних
књига и
прегледних
радова |
|||||
|
Број
часова активне
наставе: 15 |
Теоријска
настава: 15 |
Практична
настава: |
|||
|
Методе
извођења
наставе Предавања
и дискусије
по
предложеној
и допунској
литератури,
упознавање
и рад на експерименталним
уређајима. |
|||||
|
Оцена знања
(максимални
број поена 100) |
|||||
|
Предиспитне
обавезе |
поена |
Завршни
испит |
поена |
||
|
активност
у току
предавања/консултација |
10 |
усмени
испит |
20 |
||
|
задаци |
10 |
писмени
испит |
20 |
||
|
семинар |
40 |
|
|
||
|
Начин
провере
знања могу
бити
различити наведено у
табели су
само неке
опције: (писмени
испити,
усмени испт,
презентација
пројекта,
семинари
итд...... |
|||||
|
*максимална
дужна 1
страница А4
формата |
|||||