Назив предмета: Интеракција плазме и ласера са површинама

Наставник: Јaгош Пурић

Статус предмета: изборни

Број ЕСПБ: 15

Услов: нема посебних услова

Циљ предмета

Проучавање основних процеса и феномена везаних за интеракцију плазме и ласера са површинама. Овладавање техникама третмана површина плазмом и ласером.

Исход предмета:

Разумевање процеса на третираним површинама. Оспособљавање за самосталан истраживачки рад: коришћење дијагностичких метода за проучавање интеракције, дијагностика површина после третмана.

Садржај предмета

Кристали и аморфна тела; Дефекти у кристалу; Механички и термални напон; Пластичност и кртост; Каљење; Течности и растопи; Топљење и очвршћавање; Формирање капљица и њихова депозиција; Нестабилности на површини течности; Кретање у течностима; Брза рекристализација; Ерозија: испаравање, распршивање, аблација; Ласерски индукована плазма; Депозиција; Формирање танких филмова; Хемијска депозиција (CVD, PECVD); Физичка депозиција (Molecular Beam Epitaxy, PVD, PLD); Фрактали и дендрити; Имплантација; Нагризање; Микро и нанолитиграфија; Интеракција нискотемпературне плазме и млазева плазме са површинама; Формирање наноструктура у плазми; Добијање наноструктура на третираним површинама; Интеракција ласера са површинама; Интеракција јонских снопова са површинама.

Литература

1. Roth J.R., Industrial Plasma Engineering, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia, 2001.

2. Grill A., Cold Plasma in Materials Fabrication, IEEE Press, New York, 1994.

3. Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю., Большов Л.А., Малюта Д.Д и Себрант А.Ю., Воздействие лазерного излучения на материалы, Наука, Москва, 1989.

4. Fahrner W.R., Nanotechnology and Nanoelectronics, Springer, Berlin, 2005.

5. Vickerman J.C., Surface Analysis - the Principal Techniques, John Wiley & Sons, Chichester, England, 1997.

Број часова  активне наставе: 15

Теоријска настава: 10

Практична настава: 5

Методе извођења наставе

Предавања, консултације, демонстрације, семинар, задаци.

Оцена  знања (максимални број поена 100)

Предиспитне обавезе

поена

 

Завршни испит

поена

активност у току предавања/консултација

10

усмени испит

40

задаци

20

 

 

семинар

30

 

 

Начин провере знања могу бити различити наведено  у табели су само неке опције: (писмени испити, усмени испт, презентација пројекта, семинари итд......

*максимална дужна 1 страница А4 формата