|
Студијски
програм: Дипломске
академске
студије - Примењена
и компј.
физика |
||||
|
Назив
предмета: Примена
плазме у
обради
материјала
и нанотехнологији |
||||
|
Наставник: Доцент
др Иван
Дојчиновић |
||||
|
Статус
предмета: Изборни |
||||
|
Број
ЕСПБ: 4 |
||||
|
Услов: Положен
предмет Основи
физике
јонизованих
гасова. |
||||
|
Циљ
предмета: Да
упозна студенте
са основама примене
плазме у
обради
материјала
и нанотехнологији. |
||||
|
Исход
предмета: Усвајање
основних
појмова
везаних за
рад извора
плазме
погодних за
обраду
материјала
и примену у
нанотехнологији.
Стицање
основе
неопходне
за практичну
примену
ових извора.
Припрема
студената
за дијагностику
третираних
површина и
добијених
наноструктура. |
||||
|
Садржај
предмета: Теоријска
настава: Процеси
на
електродама;
Распршивање
материјала
са
електрода; Процеси
у плазми од
значаја за
обраду материјала
и добијање
наноструктура;
Тињаво
пражњење,
корона, РФ
плазма, МТ
плазма; Лучно
пражњење; Плазмотрони:
лучни, РФ, МТ, ласерски;
Убрзавачи
плазме;
Плазма
компресори;
Основе
дијагностике
плазме;
Основе
дијагностике
третираних
материјала
и
наноструктура;
Микроскопија
(SEM, AFM, TEM); Рентгено-структурна
анализа (XRD);
Раманова
спектроскопија;
Електронске
микроскпије
(AES, LEED, RHEED);
Остале
дијагностичке
методе;
Интеракција
плазме са
површинама;
Интеракција
ласера и
јонских
снопова са
површинама; Основне
особине
кристала и
аморфних
тела; Основне
особине
течности и
растопа; Ерозија:
испаравање,
распршивање,
аблација;
Формирање
плазме на
третираној
површини;
Прашкаста
плазма;
Депозиција (CVD, PECVD, PVD);
Наношење
танких
слојева;
Чишћење,
оксидација,
очвршћавање
површина;
Формирање
наноструктура
(наноцеви,
наножице,
фулерени...); Добијање
наноструктура
на третираним
површинама; Основни
процеси
раста (VLS, V-S, SLS
механизми); Имплантација;
Нагризање
плазмом;
Микро и нанолитиграфија. Практична
настава: Уводни део:
упознавање
са изворима
плазме.
Експерименталне
вежбе: 1.
Плазмотрони;
2. Убрзавачи
плазме; 3.
Третирање
површине
челика
плазмом и
дијагностика
насталих
промена; 4.
Третирање
површине
силицијума
плазмом; 5.
Дијагностика
третиране
површине
силицијума
(ОМ, СЕМ, АФМ); 6.
Дијагностика
наноструктура
силицијума. |
||||
|
Литература:
1. Roth J.R., Industrial Plasma Engineering, Institute of Physics Publishing, Bristol
& Philadelphia, 2001. 2.
Grill A., Cold Plasma in Materials Fabrication, IEEE Press, New York, 1994. 3. Fahrner W.R., Nanotechnology and Nanoelectronics,
Springer, Berlin, 2005. 4. Vickerman J.C., Surface
Analysis - the Principal Techniques, John Wiley & Sons, Chichester,
England, 1997. |
||||
|
Број
часова активне
наставе: 4 |
Теоријска
настава: 2 |
Практична
настава: 2 |
||
|
Методе
извођења
наставе: Предавања
(теоријска
обрада
тематских
јединица,
практични
примери,
демонстрациони
огледи),
семинарски
рад, експерименталне
вежбе. |
||||
|
Оцена знања
(максимални
број поена 100) |
||||
|
Предиспитне
обавезе |
поена |
Завршни
испит |
поена |
|
|
активност
у току
предавања |
20 |
усмени
испит |
40 |
|
|
практична
настава |
10 |
колоквијум |
10 |
|
|
семинар |
20 |
|
|
|